Reinraumklassen nach ISO 14644-1

Um einen Reinraum betreiben zu können, müssen nach dem Bau und während des Betriebs Partikelmessungen durchgeführt werden. Aufgrund dieser Messungen kann eine Klassifizierung der Reinheit des Raumes nach einer Norm vollzogen werden.

Es gelten zur Zeit mehrere Normen, in denen die einzelnen Reinraumklassen definiert wurden.

Reinraumklassen nach ISO 14644-1 (in Partikel je m3)

Klasse ≥ 0,1 µm ≥ 0,2 µm ≥ 0,3 µm; ≥ 0,5 µm ≥ 1,0 µm ≥ 5,0 µm
ISO 1 10          
ISO 2 100 24 10      
ISO 3 1.000 237 102 35    
ISO 4 10.000 2.370 1.020 352 83  
ISO 5 100.000 23.700 10.200 3.520 832  
ISO 6 1.000.000 230.700 102.000 35.200 8.320 293
ISO 7       352.000 83.200 2.930
ISO 8       3.520.000 832.000 29.300
ISO 9       35.200.000 8.320.000 293.000

Reinraumklassen nach GMP

Reinraumklassen nach GMP-Leitfaden Annex 1 (in Partikel je m3)

Klasse Ruhezustand
≥ 0,5 µm
Ruhezustand
≥ 5 µm
Betriebszustand
≥ 0,5 µm
Betriebszustand
≥ 5 µm
A 3.520 20 3.520 20
B 3.520 29 352.000 2.900
C 352.000 2.900 3.520.000 29.000
D 3.520.000 29.000 n.a. n.a.